切割機7134_ADT 衡鵬供應
切割機7134擁有 4" 高功率空氣軸承主軸,30krpm時最高2.5KW。直流無刷電機,閉環速度控制。覆蓋最高 12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(不帶框架)。
系統配有閉環轉向臺,針對多角度切割進行優化,適用各種產品,例如:
·陶瓷基板
·氧化鋁
·混合物
·厚膜設備等
ADT切割機7134系統規格:
大面積系統配置:最高300mm x 300mm
刀片尺寸:4"-5"
主軸:空氣軸承,直流無刷,30 krpm/2.5 kW
分度軸(y)
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
控制:線性編碼器
分辨率:0.2 μm
累積精度:1.5 μm
分度精度:1.0 μm
傳送軸(X)
氣動滑塊
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無刷電機
傳送速度:高達 600 mm/sec
切割深度軸(z)
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
分辨率:0.2 μm
精度:2.0 μm
重復精度:1.0 μm
行程:50 mm
旋轉編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達3" - 可選
旋轉軸
驅動:閉環、直接驅動、直流無刷
精度:4 arc-sec
重復精度:4 arc-sec
行程:350度
7134的視覺系統
數碼攝像頭、Fire-Wire技術、高亮LED照明(直射和斜射)
x55-x210或x35-x140(可選)連續數字變焦。
7134設施參數
電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相
氣源:260 L/min @ 5.5bar
主軸冷卻水:1.1 L/min廠務端用水
切割用水:最高3L/min
尺寸(WXDXH)
965×1300×1600 mm
重量:900 kg
了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_dicer/ADT_7134.htm
ADT切割機7134相關產品:
衡鵬供應
ADT 8020系列雙軸晶圓切割機
ADT 7220系列單軸晶圓劃片機