特長

·可以自動連續高溫處理注入

·1價離子可注入350keV，2價離子可注入700keV（可選擇1價離子可注入430keV，2價離子可支持860keV）

·在雙端站實現高吞吐量（A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等，可根據客戶的要求構建規格）

·可以進行鏈條注入，減輕操作員的負荷

·小型設計

·從試作到量產可以廣泛對應